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コレット11の基端部と、ハウジング12の支持部12dとの間には、図示例ではコイルばねで構成される保持ばね15(コレット付勢手段)が設けられる。この保持ばね15は、コレット11を軸線方向先端側に付勢する。これによって、コレット11に外力が加わらない状態では、上記係止段部11dが上記コレット係止部12rに当接した状態(係止位置)に保持される。コレット11は、作動体13の上記支持面部13bに対する基準部11aの摺接構造によって、軸線10xと同軸状の位置及び姿勢が保持された状態で、軸線10xに沿った方向に移動可能に構成される。

一方、特許文献2に記載のチャッキング装置では、コレットとエアシリンダ構造が隣接して配置されるために比較的コンパクトにはなるものの、両者が軸方向に配列されている点では上記と同様であり、構造上はコレットの大きさに対して実施例以上の小型化は難しい。また、コレット12がヘッドキャップ部3とピストン体20にそれぞれ局部的に接触するだけであるとともに、線ばね15や圧縮コイルばね18によって強制的に復帰するように構成されるため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題がある。

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この実施形態では、作動体63はコレット61の内部から軸線方向基端側に突出した基端部に受圧部63dが形成されるが、この受圧部63dは、先の各実施形態のような、軸線60xの通過部分に軸孔構造を備えておらず、軸線60xが通過する中心部分にも形成されている。このようにすると、外形寸法を増大させずに、受圧部63dの受圧面積を増大させることができるので、コンパクト化を図りつつ作動体63の駆動力を大きくすることができる。なお、コレット61の基準部61aを、その内側にある作動体63の外面に摺接させることにより、軸線に対して同軸状の位置及び姿勢が保持されるように構成してもよい。このとき、図示例と同様に、コレット61をハウジング62に対しては軸線方向に固定してもよく、或いは、第1実施形態と同様に、コレット61をハウジング62に対して係止位置で位置決め可能としつつ、軸線方向基端側には移動可能に構成してもよい。

本発明において、前記作動体では、前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲に対して、相互に重なる軸線方向の範囲に前記コレット摺接部が設けられることが好ましい。ここで、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲は、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面との間に単一のシール部材のみが配置される場合には当該シール部材が配置される軸線方向の範囲、或いは、複数のシール部材が配列される場合には、複数のシール部材の間の相互に最も離れたシール部材の間にわたる軸線方向の範囲である。

最初に、機能実現手段100Aにおける処理内容を説明する。この機能実現手段100Aは、流体供給源102の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット11のフィンガー部11cの把持力を制御する手段である。コレット11のフィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力は、流体圧が受圧部13dに加わることによって生ずる作動力が作動体13に加わり、この作動体13に加わる作動力と、作動ばね14の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部13cから被動部11tに与えられることにより、フィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器P1により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部101の制御信号Rp1によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器S1の検出信号Ss、把持態様検出器S3-S5の検出信号Sd、又は、把持対象物検出器S6の検出信号Stの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部101が制御信号Rp1を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Sdの他に、検出信号Ssからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Stからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。

前記筒体の先端より先端部が突出するように前記筒体の内部に環状隙間を有して収容され、前記筒体に対して一体回転するとともに、軸方向に往復移動しながら、前記筒体の主軸の回転中心線を通る平面上を往復揺動可能な内側の軸体と、

前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を有する加工工具用保持具を前記工作機械に取り付け、かつ前記チャック部に前記加工工具をチャックし、

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